广州开发区、黄埔区：鼓励发展光刻胶、光芯片等高端半导体制造材料

魏定国

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广州市黄埔区工业和信息化局、广州开发区经济和信息化局印发《广州开发区广州市黄埔区促进集成电路产业发展办法》。其中提出，鼓励发展大硅片、光掩膜、电子气体、光刻胶、抛光材料、高纯靶材、光芯片等高端半导体制造材料，支持清洗设备、光刻机、刻蚀设备、离子注入、沉积设备、封装设备（划片机、减薄机、引线键合机、倒装键合机及贴片机等）、检测设备（测试机、探针台等）以及单晶生长炉、外延生长炉等设备、关键零部件及工具国产化替代。对当年产值首次达到2000万元、5000万元、1亿元、3亿元、5亿元、10亿元的集成电路装备、材料、零部件类企业，经认定，分别给予20万元、50万元、100万元、200万元、300万元、500万元的扶持，同一企业按差额补足方式最高扶持500万元。

　　广州市黄埔区工业和信息化局广州开发区经济和信息化局关于印发广州开发区广州市黄埔区促进集成电路产业发展办法的通知

　　区各有关单位：

　　《广州开发区广州市黄埔区促进集成电路产业发展办法》业经广州开发区管委会、黄埔区政府同意，现印发实施。执行过程中如遇问题，请径向区工业和信息化局反映。

　　特此通知。

　　广州市黄埔区工业和信息化局广州开发区经济和信息化局

　　2023年10月27日

广州开发区广州市黄埔区促进集成电路产业发展办法

完